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武漢順安氣體有限公司

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特種氣體之混合氣

特種氣體之混合氣

  特種氣體之混合氣產品介紹

  執行標準:GB/T 14602-2014《電子工業用氣體混合氣》及ISO 14175-2002《焊接消耗品氣體與混合氣》

  核心優勢:

  高精度配比:采用動態混合工藝,比例誤差≤0.5%,滿足半導體蝕刻、激光切割等場景需求。

  組分穩定性:通過低溫吸附技術去除雜質,確?;旌蠚庠趦Υ嫫趦缺壤裏o偏移(≤1%)。

  安全設計:專用高壓鋼瓶配備防爆閥與壓力監測模塊,每5年進行水壓試驗(壓力22.5MPa)與超聲波測厚檢測。

  應用場景:

  半導體制造:CF4/O2混合氣用于芯片蝕刻,控制線寬精度至納米級。

  醫療呼吸:O2/N2O混合氣支持無痛分娩與術后鎮痛。

  科研校準:零點氣(如N2/He)用于環境監測儀器標定。

  質量控制:

  配比檢測采用氣相色譜-質譜聯用儀(精度±0.1%),批次留樣備查。

  鋼瓶充裝前經真空脫附處理,殘留水分≤1ppm。

  安全措施:

  儲存區域配備混合氣檢測儀(檢測范圍0-100%VOL)與排風系統聯動。

  運輸車輛配備GPS壓力監控(罐體壓力≤15MPa)及防爆裝置。


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